JGS1 Quarzglassubstrat

Quarzglas ist die Lösung, wenn für die Anwendung bereits alle anderen Materialien ausgeschlossen sind. Halbleiterlithografieanlagen, Tief-UV-Laseroptiken, hochpräzise Messfenster, Fluoreszenz-Bildgebungssysteme, Excimerlaser-Resonatoren – hier vergleicht man keine Materialien und wählt das günstigste aus. Quarzglas ist die Antwort, noch bevor die Frage gestellt ist.

Der Transmissionsbereich ist aussagekräftig: 185 nm bis 3500 nm, strahlungsfrei bis ins tiefe UV-, sichtbare und nahe Infrarotspektrum. Kein Standardglas erreicht diesen Bereich. Borosilikatglas absorbiert nur bis etwa 300 nm. Wenn Sie als Lichtquelle einen UV-Laser, eine Deuteriumlampe oder einen Excimerlaser mit 193 nm verwenden, ist Quarzglas das einzige flache Glassubstrat, das die benötigten Wellenlängen nicht absorbiert.

Die thermische Stabilität ist ein weiterer Grund für den Einsatz in Präzisionsinstrumenten. Der Ausdehnungskoeffizient beträgt nur ein Zehntel desjenigen von Borosilikatglas. In einem Laserresonator oder einem interferometrischen Messsystem macht dies den Unterschied zwischen einer Komponente, die ihre Ausrichtung über einen Temperaturzyklus hinweg beibehält, und einer, die driftet. Für Fenster in Halbleiterfabriken und Gehäuse für chemische Prozesse ist die nahezu vollständige chemische Inertheit ebenso wichtig – Quarzglas trägt nicht zur Kontamination bei, reagiert nicht mit Prozessgasen und zersetzt sich nicht in Umgebungen, die andere, weniger reine Materialien beeinträchtigen würden.

Für die Bearbeitung sind durchgehend Diamantwerkzeuge erforderlich. Anritzen, bohren und schleifen Sie mit Diamant – das Material ist härter und spröder als Standardglas und verzeiht keine Nachlässigkeit. Wasserstrahlschneiden eignet sich hervorragend zum Schneiden flacher Platten. Dank der amorphen, isotropen Struktur lassen sich die Kanten zu einer exzellenten optischen Oberfläche polieren.

Erhältlich in UV- und IR-Qualität. Sonderanfertigungen auf Anfrage – kontaktieren Sie uns bitte mit Angabe von Dicke, Format und Anwendungsbereich.