HPFS® Standard Grade 7980 ist ein hochreines, synthetisches, amorphes Siliciumdioxid, hergestellt durch Flammenhydrolyse. Das nichtkristalline, farblose Quarzglas vereint einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten mit hervorragenden optischen Eigenschaften und außergewöhnlicher UV-Transmission. Es ist in verschiedenen Qualitäten für unterschiedliche Anwendungen erhältlich.
Coresix fertigt HPFS®-Standardwafer gemäß allen SEMI-Standards, einschließlich Maß-, Planheits- und Kerbspezifikationen. Darüber hinaus bieten wir kundenspezifische Spezifikationen an, die auf Ihre individuellen Bedürfnisse zugeschnitten sind, wie z. B. Ausrichtungsmarken, Bohrungen, Taschen, Kantenprofile, Dicke, Planheit, Oberflächenqualität, Reinheit oder andere Details, die für Ihre Anwendung entscheidend sind.

Elektrische Eigenschaften
| Eigentum | Zustand | Wert |
|---|---|---|
| Log10 Volumenwiderstand | (250 °C, 482 °F) | 11,8 Ohm·cm |
Thermische Eigenschaften
| Eigentum | Wert |
|---|---|
| Erweichungspunkt* | 1585 °C |
| Glühpunkt* | 1042 °C |
| Spannungspunkt* | 893 °C |
| Spezifische Wärmekapazität | 0,770 J/(g·K) |
| Wärmeleitfähigkeit | 1,38 W/mk |
| Wärmeleitfähigkeit | 0,0075 cm²/s |
Wärmeausdehnung ** (ppm/°C)
| Temperaturbereich | Wert |
|---|---|
| 5 °C bis 35 °C | 50,52 x 10⁻⁶ |
| 0 °C bis 200 °C | 0,57 x 10⁻⁶ |
| -100 °C bis +200 °C | 0,48 x 10⁻⁶ |
Mechanische Eigenschaften
| Eigentum | Wert |
|---|---|
| Dichte (25°C) | 2,20 g/cm³ |
| Elastizitätsmodul (Young-Modul) | 73 GPa |
| Schermodul (25°C) | 31 GPa |
| Bruchmodul, abgerieben | 52,4 MPa |
| Kompressionsmodul | 35,9 GPa |
| Knoop-Härte (100 g Last) | 522 kg/mm² |
| Poisson-Verhältnis | 0,16 |
| Zugfestigkeit | 54 MPa |
| Druckfestigkeit | 1,14 GPa |
Optische Eigenschaften
| Eigentum | Wert |
|---|---|
| Abbe-Beschränkungen Vₑ | 67,6 |
| Abbe-Beschränkungen Vd | 67,8 |
| Spannungskoeffizient | 35,0 nm/cm MPa |
Brechungsindex (Bedingungen: 22°C, 760 mm Hg, N₂)
| Wellenlänge | Brechungsindex 2n | Thermischer Koeffizient Δn/ΔT3 [ppm/°C] |
|---|---|---|
| @435.957nₘ | 1,466691 | 10.6 |
| @587.725nₘ | 1,458461 | 10.1 |
| @656.454nₘ | 1,456364 | 9,9 |